복잡한 얼라인먼트의 문제점 해결
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CE
Approved
얼라인먼트 마크를 촬영하여 카메라와 스테이지의 좌표를 자동으로 캘리브레이션.
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오토 캘리브레이션 결과를 시각적으로 확인할 수 있습니다.
얼라인먼트 오류의 원인 중 한가지인 캘리브레이션이 정확히 이루어지고 있는지 간단히 확인 가능합니다.
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얼라인먼트 동작을 PC 상에서 재현할 수 있습니다.
얼라인먼트 동작을 4스텝으로 나누어 시뮬레이션하여, 단계적인 동작 확인이 가능합니다.
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